半导体行业在芯片制造、清洗、蚀刻等工序中,会产生硫酸雾、氟化物、氯化物等强腐蚀性酸碱废气。这些废气若未经处理直接排放,不仅腐蚀设备、污染环境,还威胁操作人员健康。因此,半导体厂需通过酸碱废气塔进行中和处理,确保废气达标排放。
酸碱废气塔采用逆流喷淋技术,含酸/碱性废气从塔底进入,与塔顶喷淋的NaOH或H₂SO₄溶液逆向接触,通过中和反应将污染物转化为无害盐类。设备内部填充FRP鲍尔环填料,增大气液接触面积,提升传质效率;顶部除雾层采用折流板设计,可有效截留99%以上的液滴,避免二次污染。
特点:
1. 耐腐蚀性能:采用FRP(玻璃钢)材质,可耐受pH 2-12的酸碱环境,使用寿命达15年以上。
2. 智能控制:集成pH在线监测系统,自动调节药剂浓度,确保中和反应精准高效。
3. 低能耗设计:空塔流速控制在1.0-1.5m/s,压降低于800Pa,配套风机功率较传统设备降低20%。
维护保养:
- 日常巡检:每日检查喷淋系统是否堵塞,每周清洗填料层积垢,防止传质效率下降。
- 药剂管理:定期更换循环液,避免中和产物结晶堵塞管道;每年校准pH传感器,确保控制精度。
- 防腐维护:每季度检查塔体壁厚,FRP材质剩余厚度低于3mm时需及时修补。